⑴ 中國有大型國企研發製造光刻機嗎
光刻機是晶元製造的核心設備之一,按照用途可以分為好幾種:有用於生產晶元的光刻機;有用於封裝的光刻機;還有用於LED製造領域的投影光刻機。用於生產晶元的光刻機是中國在半導體設備製造上最大的短板。
光刻機被稱為「人類最精密復雜的機器」,該領域的龍頭老大是荷蘭ASML,並已經壟斷了高端光刻機市場。荷蘭ASML公司EUV光刻機售價高達1億美元,而且只有ASML能夠生產。
相比之下,中國最好的光刻機廠商上海微電子裝備有限公司(SMEE)已經量產的光刻機中,性能最好的SSA600/20工藝只能達到90nm,相當於2004年上市的奔騰四CPU的水準。而國外的先進水平已經達到了7納米,正因如此,國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口。
⑵ 中國光刻機
中國光刻機歷程
1964年中國科學院研製出65型接觸式光刻機;1970年代,中國科學院開始研製計算機輔助光刻掩膜工藝;清華大學研製第四代分部式投影光刻機,並在1980年獲得成功,光刻精度達到3微米,接近國際主流水平。而那時,光刻機巨頭ASML還沒誕生。
然而,中國在1980年代放棄電子工業,導致20年技術積累全部付諸東流。1994年武漢無線電元件三廠破產改制,賣副食品去了。
1965年中國科學院研製出65型接觸式光刻機。
1970年代,中國科學院開始研製計算機輔助光刻掩模工藝。
1972年,武漢無線電元件三廠編寫《光刻掩模版的製造》。
1977年,我國最早的光刻機GK-3型半自動光刻機誕生,這是一台接觸式光刻機。
1978年,1445所在GK-3的基礎上開發了GK-4,但還是沒有擺脫接觸式光刻機。
1980年,清華大學研製第四代分步式投影光刻機獲得成功,光刻精度達到3微米,接近國際主流水平。
1981年,中國科學院半導體所研製成功JK-1型半自動接近式光刻機。
1982年,科學院109廠的KHA-75-1光刻機,這些光刻機在當時的水平均不低,最保守估計跟當時最先進的canon相比最多也就不到4年。
1985年,機電部45所研製出了分步光刻機樣機,通過電子部技術鑒定,認為達到美國4800DSW的水平。這應當是中國第一台分步投影式光刻機,中國在分步光刻機上與國外的差距不超過7年。
但是很可惜,光刻機研發至此為止,中國開始大規模引進外資,有了"造不如買」科技無國界的思想。光刻技術和產業化,停滯不前。放棄電子工業的自主攻關,諸如光刻機等科技計劃被迫取消。
九十年代以來,光刻光源已被卡在193納米無法進步長達20年,這個技術非常關鍵,這直接導致ASML如此強勢的關鍵。直到二十一世紀,中國才剛剛開始啟動193納米ArF光刻機項目,足足落後ASML20多年。
⑶ 國產最先進光刻機
第一,目前全球最先進的光刻機,已經實現5nm的目標。這是荷蘭ASML實現的。
而ASML也不是自己一家就能夠完成,而是國際合作才能實現的。其中,製造光源的設備來自美國公司;鏡片,則是來源於德國的蔡司公司等。這也是全球技術的綜合作用。
有關報道中的「全新的技術」,也就是中國科研工作者在關鍵部件完全國產化情況下,實現的這一次技術突破
中國和世界頂尖光刻機製造還有很大差距。
華為麒麟受制於人,中芯國際不堪大用,澎湃晶元久不見進展,虎憤晶元勉強能用。
實用更是有很遠的路要走。
大家放平心態。
⑷ 中國目前光刻機處於怎樣的水平為什麼短時間內造不出來
中國光刻機生產落後,關鍵還是能夠買進更先進的機器。如果西方國家實施制裁,禁止中國從西方進口,用不了幾年,光刻機的生產就是趕不上他們,也不會與他們有大差距。成立中國企業基金會,中國銀行聯盟基金會,給中國的各類裝備研發生產企業以年百億級別的資金支持,派出國家院士團隊全力支持研發,不愁一年兩年搞不出來。
光刻機是一台機器,你可以不斷分解這台機器,一直到各獨立原件,尤其那些關鍵是幾個部件,你會發現,做這個部件,要列出一大堆工藝設備技術,如同一棵樹散出無數枝條和樹葉,葉脈你就不要糾結了,就完善這些樹枝和樹葉就能把一萬人累死!
有人說的好:“錢不是萬能的,但沒有錢是萬萬不能的”,但是還有人說的一句話更有道理:“有錢能解決的問題都不是問題”,而晶元等領域恰恰是光有錢也不一定能解決問題的,否則為什麼我們要花那麼多錢錢去買,為什麼華為寧可被罰了那麼多錢也要美國的晶元,不會把這些錢投入自己造啊,關鍵是有錢也造不出啊!有些領域一不能逆向模仿,二不能彎道超車,三不是喊“口號”喊出來的,抓緊追趕才是正道。
中國只要不計成本,搞出高端光刻機是早晚的事,如果高端晶元也搞出來,自己的光刻機給自己的晶元廠商用,不用再進囗,國外晶元廠商賣不動晶元,自然不再買光刻機,逼迫荷蘭光刻機廠商大虧損,甚至垮台,中國在世界就是真正的巨人了。賺錢就是自然的了。這事全世界只有中國能做。
⑸ 生產光刻機有哪些上市公司
生產光刻機上市公司有ABM、上海微電子裝備有限公司、佳能、尼康、荷蘭ASML公司.
1、ABM
ABM公司成立於1986年,總部位於美國矽谷San Jose。主要經營光罩對准曝光機(光刻機),單獨曝光系統,光強儀/探針。公司的主要市場在美國和亞洲。
2、上海微電子裝備有限公司
上海微電子裝備有限公司坐落於張江高科技園區內,鄰近國家集成電路產業基地、國家半導體照明產業基地和國家863信息安全成果產業化(東部)基地等多個國家級基地。
公司成立於2002年,主要致力於大規模工業生產的投影光刻機研發、生產、銷售與服務,公司產品可廣泛應用於IC製造與先進封裝、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等製造領域。
3、佳能
佳能的產品系列共分布於三大領域:個人產品、辦公設備和工業設備,主要產品包括照相機及鏡頭、數碼相機、列印機、復印機、傳真機、掃描儀、廣播設備、醫療器材及半導體生產設備等。
4、尼康
尼康作為世界上僅有的三家能夠製造商用光刻機的公司,似乎在這個領域不被許多普通人知道,許多人只知道尼康的相機做的好,卻不知道尼康光刻機同樣享譽全球。
5、荷蘭ASML公司
這是一家總部設在荷蘭艾恩德霍芬(Veldhoven)的全球最大的半導體設備製造商之一,向全球復雜集成電路生產企業提供領先的綜合性關鍵設備。ASML的股票分別在阿姆斯特丹及紐約上市。
參考資料來源:網路-荷蘭ASML公司
參考資料來源:網路-尼康
參考資料來源:網路-佳能
參考資料來源:網路-上海微電子裝備有限公司
參考資料來源:網路-ABM
⑹ 中國大陸哪幾家企業生產光刻機
成都興林真空設備有限公司主營業務是光刻機生產加工,光刻機主要用途來自以下場景:
(1)光刻機用於大學研發、實驗室設備。
(2)工廠用於做空空導彈跟蹤器、發光二極體、感測器、手機晶元、霍爾元件
A、發光二極體:用於在十字路口紅綠燈、公交車、汽車燈用在每到一站的顯示。
B、感測器:用於高鐵到站傳輸信號准確定位。
C、手機晶元:用在手機卡上,還有手機顯示屏面。
D、霍爾元件:用於冰箱開燈亮、關燈熄滅。
E、衛星:衛星上面用於衛星角度的調整。
中國科學院半導體研究所、中國工程物理研究所
清華大學、北京大學、北京理工大學、復旦大學
南開大學、福州大學、浙江大學、武漢大學
安徽大學、華東師范大學、東北大學、廈門理工學院
中國核動研究設計院、重慶技術職工學院、成都理工大學
貴州大學、昆明理工大學、華南師范大學、青島航天半導體研究所
常州銀河電器有限公司、浙江正邦電子股份有限公司、江蘇一光儀器有限公司
江蘇車晨電子科技有限公司、上海航天控制技術研究所、上海空間研究中心
⑺ 哪一光刻機巨頭,占據了國內的80%市場
上海微電子裝備股份有限公司,在國內占據了百分之八十的市場份額,到目前為止該公司已在微電子製造相關領域申請了2400餘項專利,稱得上是國內的光刻機巨頭了。
⑻ 光刻機是晶元製造的關鍵,現在在中國有哪些企業能夠研製光刻機
光刻機是晶元製造的關鍵設備,我國投入研發的公司有微電子裝備(集團)股份,長春光機所,中國科學院等都在研發,合肥芯碩半導體有限公司,先騰光電科技有限公司,先騰光電科技有限公司, 合肥芯碩半導體有限公司都有研發以及製造。而且有了一定的科研成果,但是目前我國高端晶元的製造卻主要依賴荷蘭進口的光刻機。我國光刻機在不斷發展但是與國際三巨頭尼康佳能(中高端光刻機市場已基本沒落)ASML(中高端市場近乎壟斷)比差距很大。
合肥芯碩半導體有限公司成立與2006年4月,是國內首家半導體直寫光刻設備製造商。該公司自主研發的ATD4000,已經實現最高200nm的量產。
無錫影速成立與2015年1月,影速公司是由中科院微電子研究所聯合業內資深技術團隊、產業基金共同發起成立的專業微電子裝備高科技企業。影速公司已成功研製用於半導體領域的激光直寫/製版光刻設備、國際首台雙檯面高速激光直接成像連線設備(LDI),已經實現最高200nm的量產。無錫影速成立與2015年1月,影速公司是由中科院微電子研究所聯合業內資深技術團隊、產業基金共同發起成立的專業微電子裝備高科技企業。影速公司已成功研製用於半導體領域的激光直寫/製版光刻設備、國際首台雙檯面高速激光直接成像連線設備(LDI),已經實現最高200nm的量產。
先騰光電成立於2013年4月,已經實現最高200nm的量產,在2014國際半導體設備及材料展覽會上,先騰光電亮出了完全自主知識產權的LED光刻機生產技術,震驚四座。
⑼ 中國能造光刻機嗎
以我國現在的實力當然有能力生產光刻機。在很早以前,中國上海微電子SMEE就已經生產了SSB500/10A型號的光刻機產品,並且已經交付使用,不過,目前中國能夠量產的光刻機性能最好的是90nm光刻機,和荷蘭ASML公司最先進的5nm光刻機仍有著巨大的差異,然而製造先進光刻機技術的封鎖,那我們還無法學到難道更為先進的光刻機技術,以致於現在國內所需要的高端光刻機也只能依賴進口。
現在,在高端光刻機領域荷蘭ASML一直霸佔了龍頭老大的位置,他們生產的光刻機占據了市場份額的80%左右,可以說近乎壟斷了高端光科技的市場,目前在世界上最先進的EUV光刻機也只有ASML能夠生產,而這種光刻機的售價高達1億美元一台,無論是Intel還是台積電所需要的14nm光刻機,都需要從他們這里購買。