❶ 今年,荷蘭ASML公司賣出62台光刻機,中國買走多少設備
荷蘭ASML公司賣出的62台當中,大部分是DUV光刻機,小部分是EUV光刻機。我們中國在今年成為了ASML公司DUV光刻機的最大客戶。按購買金額排名第一,在ASML公司62台的銷售總額中佔比34%,比去年的佔比22%高出了12個百分點,比今年排名第二的韓國高出5個百分點,比排名倒數第二和倒數第一的日本、美國竟分別高出了27個、28個百分點,不過呢,我們中國買走的卻全都是單台價格比EUV低不少的DUV,就是說,雖然按購買台數也是排名第一,卻是在購買DUV光刻機的國家和地區中排名第一。
另外,應該又是更多國內晶元製造企業開展7nm技術研發的跡象吧,中芯國際就是依靠DUV光刻機研發出、掌握了這個技術的。重要的是,我們中國還有著使用EUV光刻機的現實需求,中芯國際從2020年起就在「只待」EUV光刻機了,急等著用來研發5、3nm工藝技術;等來了的話,7納米晶元的良品率當然就能更快達到業界標准了,然而,看來是一時半會兒等不來,其實,還一時半會兒等不來美國公司高端的其它工藝設備和配件、原材料等,形勢逼人,必定倒逼我們國內的相關企業加快研製的速度。